由单质氟与硫直接化合而得。反应也会生成硫的其他氟化物如十氟化二硫，可通过加热使其歧化后，再用氢i氧化钠处理除去剩余的四氟i化硫而纯化。
六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，如:断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。冷冻工业作为制冷剂，制冷范围可在-45℃~0℃之间。电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。
从医学的角度来讲,各种分解物气体及生成物对人体的影响程度不光取决于其毒性的大小,还与吸入到人体内量的大小和每个人的身体素质有关。作为客观地判断依据,日本将每一种动物物质的允许浓度设定为五级。
即: A-- i低致命浓度; B-- 半致命浓度( 50% 为死i亡浓度); C-- 短时间停留极限,通常为 15min ; D-- 出现毒性反应的i低浓度; E-- 为每天 8h ,一周 40h 的正常劳动时间,大多数人在此浓度下工作,均不会对健康有不良影响。
在对动物(雌性大、小鼠)进行分组急性静式染毒试验、亚急性静式染毒试验中,分别将白鼠放在不同浓度的 六氟化硫(SF6) 新气体或(与电弧接触过的)开断气的气体分组箱里。其结果是急性静式染毒试验未发现异常,而亚急性静式染毒试验则发现一只大鼠的肺毛细血i管在电子显微镜下有轻度亚微结构改变。是否就是由 六氟化硫(SF6) 气体引起的,因试验的动物数量有限,还难以定论。
关于六氟化硫气体的电性能，我们将分别讨论它在常温下的电气绝缘性能和高温下的灭弧性能。
在均匀电场中，工频电压的作用下，六氟化硫气体、油和氮气相比，六氟化硫气体的介质强度大约是氮气的五倍，而且当压力大于8个大气压时，其介质强度就能够超过变压器油。
六氟化硫气体的击穿电压除了与压力有关以外，还与电极表面的光洁度和洁净度有关;电极表面越洁净、越光洁，其击穿电压就越高。
在同一压力下，六氟化硫气体的击穿电压随着触头开距的增大而增大，但不是一个线性的关系，而是有一点饱和的意思，而且压力越大饱和越严重;所以我们在实践中不能单靠增大触头开距来加强绝缘。
此外，六氟化硫气体的击穿电压还与电极的几何形状和触头面积有关;如果电极形状使得电场越均匀，其击穿电压就越高，这在这里要注意，和真空开关不同，电极材料对六氟化硫气体的击穿电压没有比较明显的影响。