云浮ES200真空泵维修来电洽谈 东莞东欧真空设备

后来没有办法爱德华真空泵维修了肯定是不能用了，就只好送到我们公司进行回收，尽量将损失减到yi。所以说找爱德华真空泵维修厂家就要找的，随意选择+贪图便宜只会让自己吃亏。

功能与优势

优化了设施消耗

无需预防性维护

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理

在节功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的

轴杆一体化设计无需电机联轴器，第五抽排级免除对的需求，也避免了颗粒堆积，两者均减少了总体占地空间

泵系列

真空泵维修真空泵常规问题修复，就是指在真空泵出现问题后的处理方法。维修问题分为很多，一般未达到报废情况都可以进行修复。既然是的进行修复就不仅仅是简单的拆开、更换耗材再组装起来。真空泵有很多狠心的维修技术，其中主要的就是间隙的调整。不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时，就得依据损害配件来确定是否可进行维修

泵系列

ES 系列有五种选配型来满足不同要求。 它们可以单独使用，也可以与 EH 系列机械增压泵 （提供从 EH250 到 EH4200 的选配型）配合使用，以便同时提和 极限真空。

ES65

ES100

ES200

ES300

ES630

泵附件

提供一系列附件以 便于控制 ES 泵

油位开关

用于远程监控 油位，以防对泵造成潜在损坏。单独提供或 与 PT100 或 120?C 传感器配合提供。

温度 传感器

用于监控油温的 PT100 和 120?C 温度传感器。

入口 过滤器/入口承接罐

入口过滤器可阻止碎屑进入泵机构，因而可用于大限度地 延长正常运行时间。入口承接罐可保护泵不受大量可冷凝蒸汽 的损害。

EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

应用

目标应用包括：

负载锁

计量

传输腔

灰化/剥离

PVD

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。

受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。