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回顾便携式真空计校准装置的研发历程，为了保证校准装置的灵活使用，以实现在线校准的初心为牵引，真空事业部产品研发人员在前期技术积累基础上，开展集智攻关，突破了众多技术难关。为了满足不同空间、不同环境的灵活使用，要保证“尺子”体积足够小、方便携带。

研发人员采用模块化、集成化设计，通过机械设计和硬件结构的不断升级，相较于初代产品结构更加紧凑，使用更为方便；设计为箱体式结构，更好地保护装置本体和标准器，实现长途携带，便于在实验室和现场校准使用。目前，很新代该装置体积约500mm×500mm×850mm。

▲科研人员使用便携式真空计校准装置

第二为了使装置功能强，能够校准不同种类的真空计，要保证装置量程足够宽、精度高。研发人员采用多种计量方法，将静态比较法、动态比较法、动态流量法等集成在一起。由于各种方法的原理、结构均不相同，甚至可能相互干涉，研发人员不断反复地进行迭代试验，创新性地将它们设计组合在一起，实现宽量程、高精度的校准。

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当压力降至102Pa时，热偶电势E开始增大，这是由于此时气体传导走的热量减少，热丝温度已升高。当压力p继续降低时，热偶电势继续增大，但是越来越缓慢， 很后趋于一定值。此后，p再降低，E不再变化，即热偶真空计已达到其测量极限，这个极限为其测量下限，约为10-1Pa。为了使用上的方便，通常按照p—E校准曲线将毫伏计的刻度改成真空度。用这样刻度的真空计测量时，可直接读出真空度，再也不需要根据测得的p-E校准曲线查被测真空度。

气体种类对热偶真空计的影响热偶真空计对不同气体的测量结果是不同的，这是由于不同气体分子的导热系数不同引起的。但各种气体的p-E校准曲线形状都类同，因此，在测量不同气体的压力时，可根据干燥空气(或氮气)刻度的压力读数，再乘以相应的被测气体相对灵敏度，就可得到该气体的实际压力，即通常以干燥空气(或氮气)的相对灵敏度为1，其他一些常用的气体和蒸气的相对灵敏度如表4-2所示。相对灵敏度表明了气体热传导的性质。

对于气体分子中具有相同原子数的气体或蒸气，其相对灵敏度Sr随分子量的增大而增大。表4-2一些气体与蒸气的相对灵敏度四、热偶规管加热电流的确定由于制造热偶规管所用的材料及工艺等原因，每个规管的加热电流均不相同；在使用过程中也会因规管“老化”使得加热电流变大；此外，不同测量范围的加热电流也有差异。因此，在使用热偶计时，应按不同的量程确定规管的加热电流。

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inficon真空计(表)在市场有很多家地下作坊，他们没有检测设备，不懂压缩球容积跟测量毛细管之间的匹配关系，只是一味的照葫芦画瓢，数据和真实值相差甚远，由于很多用户本来就不知道真空测量的理论，以为只要是inficon真空计测量出来的数据就是对了，

殊不知与真实的数据相差很大，大部分测量的数据都是偏小的，因为他们只知道把压缩球泡缩小就能省点，能省下很多的钱，在网上可以说98%的inficon真空表都是假货或者称产品，不信的客户可以请他们送上海市计量测试研究院进行检测。

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