MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面，已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件，在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域，MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等；可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况，协助佩戴者提起重物、快速走动等；集成了柔性触力传感器的人造皮肤，可以用于义肢上，感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一，派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
涂层厚度计一般都需要按照已知的厚度标准进行校准。厚度测量的标准相关资源有很多，较好地确保它们归属于一些大型国家计量研究院，例如与技术研究院等国家测量机构。
同样重要的是，还需要根据这些标准进行定期检查以验证仪器是否正常运行。当测量读数不符合仪表的精度规格时，仪表必须进行调整或修理，然后重新进行校准。
但这种测量方法只适合作为参考，因为固化膜在流动后可能会发生变化，由测量仪器留下的一些痕迹也可能会影响到固化薄膜的性能。
表面科学是在固体物理等许多科学基础上发展起来的新科学，其研究对象是各种各样的表面。真空镀膜技术为制造各种各样的清洁表面提供了手段。特别是20世纪70年代在真空镀膜基础上发展起来的分子束外延技术，用他不值可以特备可控制的超薄薄膜、原子级平整度的表面、上百层的叠加膜，而且还可以控制薄膜的成分和亚比。这些薄膜的制备均为科学的研究和发展提供了充分的条件。
真空搜膜技术在其他科学领域中的应用亦很广泛。例如，电子显微镜的标本必须经过真空镀膜处理才能观察﹔激光器需要镀上精密控制的光学膜层才能使用;太阳能利用也与真空镀膜技术息息相关。
真空镀膜加工技能在塑料制品的运用上比较广泛。塑料具有易成型，成本低，质量轻，不腐蚀等特点，因而塑料制品运用广泛，但因其缺点制约了扩大运用，如不漂亮、易老化、机械性能差、耐热差、吸水率很好。经过真空镀膜技能的运用，使塑料外表金属化，将有机资料和无机资料结合起来，大大进步了它的物理、化学性能。
真空镀膜加工技能是一种新颖的资料组成与加工的新技能，是外表工程技能范畴的主要组成部分。真空镀膜加工技能是使用物理、化学手法将固体外表涂复一层特殊功能的镀膜，然后使固体外表具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、、防辐射、导电、导磁、绝缘和装修等许多优于固体资料本身的优胜功能，到达提高商品质量、延伸商品寿数、节约能源和取得明显技能经济效益的效果。