在进行洁净室净化工程的平面布局时有必要契合国家的现行标准中有关安全出产、消防、环保和工作卫生方面的各种要求；在进行洁净室净化工程平面布局时应充分考虑、物流的安排．极力做到短捷、流畅。在空间规划时应分考虑产品出产过程和洁净室净化工程装饰内各种管线、物流运送的合理安排。在确定洁净厂房的平面、空间安置后，对洁净室净化工程规划涉及的各个提出规划内容、技能要求及规划中应留意的相关问题。
我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初，在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快，相继建成一批洁净厂房，并研制成功100级单向流洁净室;与此同时，洁净厂房用设备和资料，如过滤器，洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功，并投入出产，虽然制作质量和某些工程指标与世界水平尚有差距，但已能满足国内部分需求，到20世纪70年代末我国洁净室规划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。
净化工程是一个体系工程，包含修建、装修、净化空调体系、通风、水、气、电体系，需求多多工种，依照交叉施工程序、互相配合，才干获得成功。净化工程是操控污染的工程，从一开端就要注重文明施工、注重污染操控，从着装的逐渐深化，打扫的逐渐加强，搬入机具和资材的污染操控，的分阶段操控，物流通道的逐渐减少，一直至完全操控。
净化工程有三个要害，即气流组织、正压操控、（过滤器）的运用。我们需求从一开端就要特别注意这三个要害，并自始至终。