用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氮信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
2.氢气有些性能(如质量小、易通过漏孔)比氦还好,然而由于氢一方面有 危险,另- -方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产:大量的碳和氢,使氢本底极高且波动大,以致灵敏度大大降低,所以很少采用。
氦质谱检漏仪
充氦法
的整体检漏就是可以用这种方法,将放入大型环模室中,利用环模设备的真空系统将环模抽成真空,先用辅助泵进行粗抽和预抽,在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后,将氦气充入中,压力保持和工作的压力一致,开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器,就可以直接测量的漏率了。真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记,并复查确认进行焊补,如果采用氢气作为示漏气体,要特别注意安全。
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氦检漏设备
氦罩法
在这种方法中,用塑料薄膜包裹被测容器,首先除去罩子中的空气,然后充入氦气或氦气混合气体,检漏仪与被测容器的内部连接,当检漏仪显示泄漏率时,指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值,则每个泄漏率不超过标准值;如果总泄漏率超过标准值,检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔,直至达到合格标准。真空箱式氦检漏设备【验收标准】由于真空箱式氦检漏系统是比较的设备,所以需要用户进行验收,以免后期使用过程中产生问题,难以解决。
氦检漏设备
氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:
一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。
二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气,而电离规,特别是磁放电真空规对氦有记忆效应,其表面污染时就更为严重。
三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。
四、检漏仪中空气的本底影响。
五、残余气体分子对离子的散射作用。
六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。
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