该装置由汽化炉、分解炉、重合室这3个部分组成,在重合室中放置对象物品,在汽化炉中放置Parylene (粉体)。
在装置内进行减压操作后,升高汽化炉的温度(120~180℃),使Parylene升华。 通过真空泵将该气体引导至蒸汽粘合室,通过高温(650~700℃)分解炉后,生成热分解单体。该单体在室温状态下的重合室内与对象物品相接触,其含有的热量被传导后在对象物品的表面进行聚合,形成高分子量的聚对二树脂膜。
1、纳米涂层可以涂刷在各种金属或是其他长时间需要耐磨的基体上,其优异的性能可防止金属间磨损、擦伤及烧结,有效保护易磨损部位和提高设备运转周期。
2、纳米涂层硬度高,可达8H,摩擦系数低可低至0.06一0.08,而且涂层致密光滑,附着力好,保护基材不被接触粉料、物料颗粒物磨损损耗,长期保护基体。另外,还可以耐疲劳磨损、耐冲蚀磨损、耐磨粒磨损、耐粘着磨损。
3、纳米涂层厚度很薄,不影响零件的尺寸和机械强度,且能根据使用条件的要求膜厚的厚度,确保材料的原性能和耐磨质量。
1、派瑞林真空镀膜设备有效应用于磁性材料领域,派瑞林的制备工艺和优异性能相结合,使它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀,目前国际上小型或者超小型磁材,几乎都采用派瑞林镀膜工艺作绝缘和防护涂层。
2、派瑞林真空镀膜设备有效应用于印制电路组件和元器件领域,镀膜材料通过派瑞林真空镀膜设备使得活性的对二双游离基小分子气在印制电路组件表面沉积聚合完成。气态的小分子能渗透到包括贴装件下面任何一个细小缝隙的基材上沉积,形成分子量约50万的高纯聚合物。
3、派瑞林真空镀膜设备有效应用于微电子集成电路领域,派瑞林的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的派瑞林涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此派瑞林(Parylene)不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经派瑞林(Parylene)涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
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